| 모델 | PTE-121 | PTE-131 | PTE-141 | ||
| 로드 수 (포트 수) | 2 | 3 | 4 | ||
| 물체 취급 | 300mm 웨이퍼: 직경 300±0.2 mm, 두께 775μm | ||||
| 호환되는 이동통신사 | 25슬라이드 300mm FOUP(SEMI E47.1) | ||||
| 25슬라이드 300mm FOSB(SEMI M31) | |||||
| 전원 공급 장치 | 단상 AC220V±10%,50/60Hz±5%,4KVA(FUF 포함) | ||||
| 진공 | -80kPa~-90kPa | ||||
| 40L/분 | 50L/분 | 60L/분 | |||
| 압축 공기 | 0.6MPa~0.7MPa | ||||
| 20L/분 | 30L/분 | 40L/분 | |||
