웨이퍼 이송 로봇
랍스터 시리즈

RW-V111B

RW-V111B(다이렉트 드라이브)는 고정밀 반도체 공정을 위해 설계된 소형 듀얼 암 웨이퍼 핸들링 로봇입니다. 0.5kg의 페이로드, Class 1 @ 0.1μm의 청정도, DC 48V / DC 24V 전원 공급 장치를 갖추어 유연한 상단 장착 통합으로 깨끗하고 신뢰할 수 있는 웨이퍼 핸들링을 제공합니다.

RW-A000H

RW-A000H는 안정적이고 정밀한 반도체 자동화를 위해 설계된 고하중 웨이퍼 핸들링 로봇입니다. 저전압 서보 암, 최대 10kg의 하중 용량, 0.1μm에서 Class 1의 청정도를 갖추고 있으며, 유연한 상단 또는 하단 장착과 AC 220V 구동을 제공하면서 까다로운 클린룸 어플리케이션을 지원합니다.

RW-A222D

RW-A222D 듀얼 Z축 로봇은 클린룸 환경에서의 고정밀 핸들링을 위해 설계된 듀얼 암 자동화 솔루션입니다. 55~65kg의 가중(페이로드) 용량과 0.1μm 기준 Class 1의 청정도를 갖추고 있어, 오염 제어 작동이 요구되는 까다로운 어플리케이션에 적합합니다. AC 220V로 구동되며 하부 장착용으로 설계된 RW-A222D는 통합 자동화 시스템을 위해 콤팩트하고 안정적인 구성을 제공합니다.

PTE-141

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